Miniaturisierte Ionengetterpumpen für den Einsatz in kompakter und transportabler Quantenmesstechnik entwickeln Wissenschaftler:innen des Instituts für Mikroproduktionstechnik (IMPT) der Leibniz Universität Hannover derzeit in Kooperation mit der Firma LPKF.
Bei der Miniaturisierung von Quantensystemen spielt auch die Miniaturisierung der Peripherie eine große Rolle. Gerade bei Vakuumsystemen ist die Pumptechnik die platzeinnehmendste Komponente. Im Rahmen des Projekts "Innovative Vakuumtechnologie für Quantensensoren" (InnoVaQ) entwickelt das IMPT deshalb eine miniaturisierte Pumptechnik: eine Ionengetterpumpe. Die entwickelte miniaturisierte Pumpe soll in der Lage sein, den Druck aufrechtzuerhalten und zu messen.
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https://phi-hannover.de/herstellung-miniaturisierter-ionengetterpumpen-am-impt/
